一种结合ALD制备高介电复合膜的方法
Release Time:2025-04-30
Hits:
- Title:
- 一种结合ALD制备高介电复合膜的方法
- Disigner of the Invention:
- 杜显锋; 林白阁; 徐友龙
- Type of Patent:
- Invent
- Application Number:
- 2015108518600
- Service Invention or Not:
- No
- Application Date:
- 2015-11-27
- Date:
- 2025-04-30
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