专利名称：

一种纳米多台阶高度样板及其制备方法

发明设计人：

景蔚萱;蒋庄德;赵凤霞;韩国强;朱明智

专利类型：

发明

申请号：

200610043075.3

是否职务专利：

否

申请日期：

2006-06-30

发布时间：

2025-04-30