项目名称：

纳米粗糙度测试计量及其对器件性能影响规律研究

项目状态：

进行中

项目分类：

纵向项目

项目来源：

交叉学科项目

项目编号：

NO.2009xjtujc16

立项时间：

2009-10-01

发布时间：

2025-04-30