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研究领域:MEMS与微纳米测试技术、超精密加工技术
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入职时间:
2002-02-25
学历:
博士研究生毕业
性别:
男
学位:
博士
在职信息:
在职
毕业院校:
西安交通大学
所属院系:
机械工程学院
学科:
机械工程
专利成果
当前位置:
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专利成果
基于纳米Tio2薄膜的微型氧气传感器及制备工艺
专利名称:
基于纳米Tio2薄膜的微型氧气传感器及制备工艺
发明设计人:
王海容
专利类型:
发明
申请号:
201410285768.8
是否职务专利:
否
申请日期:
2014-06-25
发布时间:
2025-04-30
发明设计人:
王海容
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一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法
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一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺