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基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究

Release Time:2025-04-30 Hits:

Project Name:

基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究

Status:

进行中

Classification of Project:

Vertical project

Project Source:

National Natural Science Foundation of China Youth Fund Project

Project Number:

51505368

Date of Project Approval:

2016-01-01

Date of Project Completion:

2018-12-01

Date:

2025-04-30