频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法

• Date:2025-04-30
• Title of Paper:频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法
• Journal:光学学报
• Summary:频率扫描干涉仪对测量过程中光程差的漂移非常敏感，目标镜的微小位移会被放大几千倍，使得测量结果严重失真，因此必须消除或减弱漂移误差。针对现场测量中目标镜的低频振动或缓慢漂移，根据光频连续正反向扫描测量值漂移误差放大项大小近似相等、符号相反的特性，提出了一种光频连续正反向快速扫描的漂移误差补偿方法，并进行了频率扫描干涉仪漂移误差补偿实验，分析对比补偿前后的实验结果，验证了该方法的可行性。实验结果表明，在测量距离约1543.3 mm处，目标镜振动频率为4.7 Hz，振幅为1 μm，采用补偿后，连续40次采样测量的标准差由补偿前的51.9 μm下降到8 μm。
• Co-author:陶龙 刘志刚 吕涛 邓忠文 龚海
• Translation or Not:No
• Date of Publication:2013-08-01