大尺寸高质量第三代半导体 SiC 晶体电阻法生长设备研发及产业化
Release Time:2025-04-30
Hits:
- Project Name:
- 大尺寸高质量第三代半导体 SiC 晶体电阻法生长设备研发及产业化
- Status:
- 进行中
- Classification of Project:
- Vertical project
- Project Source:
- other
- Project Number:
- 2024其他纵向11
- Date of Project Approval:
- 2024-01-01
- Date of Project Completion:
- 2026-12-01
- Date:
- 2025-04-30
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