科研项目

项目名称：

真空定向凝固提纯多晶硅过程中磷杂质的迁移特性研究

项目状态：

进行中

项目分类：

纵向项目

项目来源：

中国博士后基金

项目编号：

2013M540747

立项时间：

2013-09-01

结项日期：

2016-03-01

发布时间：

2025-04-30