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晶圆表面加工中几何参数的纳米精度在线测量方法与表征
发布时间：2025-04-30
点击次数：
- 项目名称：
- 晶圆表面加工中几何参数的纳米精度在线测量方法与表征
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 973项目（子课题）
- 项目编号：
- 2009CB724207
- 立项时间：
- 2009-01-01
- 结项日期：
- 2012-12-01
- 资助额度(万元)：
- 360.0
- 发布时间：
- 2025-04-30
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