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一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法
发布时间：2025-04-30
点击次数：
- 专利名称：
- 一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法
- 发明设计人：
- 陈涛，司金海，马云灿，等
- 专利类型：
- 发明
- 申请号：
- 201310141035.2(2016)
- 是否职务专利：
- 否
- 申请日期：
- 2013-06-01
- 发布时间：
- 2025-04-30
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学历： 博士研究生毕业
学位： 博士
毕业院校： 哈尔滨工业大学
所属院系： 电子科学与工程学院
学科： 电子科学与技术
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