►国际首创原子层沉积技术结合湿法刻蚀的纳米台阶复合工艺，成功研制出目前国内尺度最小的5~40nm台阶高度标准物质，率先实现亚50nm台阶高度到国家基准的量值溯源；精确制备16~2000nm跨尺度系列纳米几何量计量标准物质，实现跨尺度栅格周期以及线宽到国家米定义波长基准的量值溯源；获批4项国家一级标准物质，10项国家二级标准物质，2021年获中国机械工业科学技术奖科技进步一等奖。