专利名称：

具有平膜特征背底承压的温压集成式传感器及其制备方法

发明设计人：

王久洪，王圣旗，韩香广， 秦睿， 皇咪咪， 赵立波

专利类型：

发明

申请号：

2024112219386

是否职务专利：

否

申请日期：

2024-09-02

发布时间：

2025-04-30