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光学构件空间位姿监测用双频复合二维光栅多自由度纳米测量系统研究

Release Time:2025-04-30 Hits:

Project Name:

光学构件空间位姿监测用双频复合二维光栅多自由度纳米测量系统研究

Status:

进行中

Classification of Project:

Vertical project

Project Source:

National Major Scientific Instruments Special Project

Project Number:

51427805

Date of Project Approval:

2015-01-01

Subsidy Amount(Wan Yuan):

860.0

Date:

2025-04-30