3D-feature-based structure design for silicon fabrication of micro devices
发布时间：2025-04-30
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- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- 3D-feature-based structure design for silicon fabrication of micro devices
- 发表刊物：
- Microsystem Technologies
- 摘要：
- 3D-feature-based structure design for silicon fabrication of micro devices
- 合写作者：
- Liu Y, Jiang PY, Zhang DH, Zhou GH
- 卷号：
- 13(7)
- 页面范围：
- 701-714
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2007-07-01